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第九十七章 MEMS镊子(第1页)

电子楼,会议室。

“20微米光刻机,什么时候能到?”

陈泉和赵良材,正在讨论新购的一批仪器设备。

正讨论着,曲峰跟着女儿,曲燕秋走了进来。

......

“你们来得正好。

我们的讨论刚结束,正准备散会呢。”

赵良材的声音十分洪亮。

随着一篇篇论文的不断发表,MEMS项目组成员的精神气,和以前大不相同了。

“哦?讨论的是什么?能让我知道吗?”

“是一个新的项目,就是我们准备用来冲击CNS的项目。”

“哦?传感器项目,还可以发表顶级期刊吗?”

虽然曲峰不知道CNS项目是什么,但CNS是什么,他是知道的。

CNS别指CELL,NATURE,SCIENCE。

除了CELL专注生命科学外,后两本都是综合类科技期刊的顶级存在。

“还是你们准备放出那个深硅工艺?”

“深硅刻蚀工艺,我们会留在最后。

等到产品面世以后再公布,给我们赢得至少两年的产品独占期。”

陈泉回答。

“这次准备发布的,是一个用半导体工艺制造的MEMS镊子。”

这把镊子,也是陈泉从“记忆”

里得到的一个模糊结果。

不过这次,“他”

的记忆很奇怪,只有几张草图,而没有试验过程。

也就是说,由于某种原因,“他“并没有把实验做完。

按理说,这种不完整的项目,不是陈泉的优先选择,但随着对MEMS技术的逐渐了解,陈泉的知识积累和经验,都已经足够。

“镊子?镊子怎么了?”

曲峰没有明白。

“为什么传感器项目,不敢去投CNS,这个镊子就敢?”

“爸,你不知道。

MEMS最近的大火,主要是在执行器方面。”

曲燕秋替大家解释。

“我们做的传感器,并不是MEMS的主流。”

“执行器?”

“对,就是让东西动起来。

微马达,就是执行器的典型代表。

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