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第九十七章 MEMS镊子（第1页）

电子楼，会议室。

“20微米光刻机，什么时候能到？”

陈泉和赵良材，正在讨论新购的一批仪器设备。

正讨论着，曲峰跟着女儿，曲燕秋走了进来。

......

“你们来得正好。

我们的讨论刚结束，正准备散会呢。”

赵良材的声音十分洪亮。

随着一篇篇论文的不断发表，MEMS项目组成员的精神气，和以前大不相同了。

“哦？讨论的是什么？能让我知道吗？”

“是一个新的项目，就是我们准备用来冲击CNS的项目。”

“哦？传感器项目，还可以发表顶级期刊吗？”

虽然曲峰不知道CNS项目是什么，但CNS是什么，他是知道的。

CNS别指CELL，NATURE，SCIENCE。

除了CELL专注生命科学外，后两本都是综合类科技期刊的顶级存在。

“还是你们准备放出那个深硅工艺？”

“深硅刻蚀工艺，我们会留在最后。

等到产品面世以后再公布，给我们赢得至少两年的产品独占期。”

陈泉回答。

“这次准备发布的，是一个用半导体工艺制造的MEMS镊子。”

这把镊子，也是陈泉从“记忆”

里得到的一个模糊结果。

不过这次，“他”

的记忆很奇怪，只有几张草图，而没有试验过程。

也就是说，由于某种原因，“他“并没有把实验做完。

按理说，这种不完整的项目，不是陈泉的优先选择，但随着对MEMS技术的逐渐了解，陈泉的知识积累和经验，都已经足够。

“镊子？镊子怎么了？”

曲峰没有明白。

“为什么传感器项目，不敢去投CNS，这个镊子就敢？”

“爸，你不知道。

MEMS最近的大火，主要是在执行器方面。”

曲燕秋替大家解释。

“我们做的传感器，并不是MEMS的主流。”

“执行器？”

“对，就是让东西动起来。

微马达，就是执行器的典型代表。